概述: MS1000是专为惯性应用而设计的同类电容式体硅MEMS加速度计。其优异的长期零偏和比例因子重复性,低运行偏差,优异的振动行为(VRE)和低噪声,可用于具有成本效益的战术级测量。内部电子电路集成了一个具有差分模拟±2.7V输出的信号调理器,一个内置自检和一个温度补偿传感器。 技术参数: 重要参数, 典型值 MS1002 MS1005 MS1010 MS1030 MS1100 Unit 加速度全量程 ±2 ±5 ±10 ±30 ±100 g 剩余偏置建模误差 0.14 0.35 0.7 2.1 7.0 mg 长期零偏重复性 0.24 0.6 1.2 3.6 12.0 mg 运行中偏置稳定性 3 7.5 15 45 150 µg 剩余比例因子建模误差 120 120 120 120 120 ppm 比例因子敏感性 1350 540 270 90 27 mV/g 轴不对准 10 10 10 10 10 mrad 分辨率(1Hz) 7 17 34 102 339 µgrms 非线性 (IEEE norm) 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 % FS 运行功耗 -40to+125 -40to+125 -40to+125 -40to+125 -40to+125 °C 尺寸 9 x 9 9 x 9 9 x 9 9 x 9 9 x 9 mm2